高效空气微粒过滤器（HEPA过滤器）由复杂的纤维系统构成。通常使用直径为0.5至2微米的玻璃纤维。影响其性能的主要因素是纤维直径和过滤器厚度。HEPA过滤器纤维间的空气间隙远大于0.3微米。

认为过滤器像筛子一样，允许小于最大孔径的颗粒通过，这种说法对HEPA过滤器来说是错误的。虽然HEPA过滤器也存在这种筛分效应，但它会产生负面影响，导致过滤器过早堵塞、过滤效率降低，甚至失效。尽管这种影响极其不利，但几乎无法消除。